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双重焦点显微镜


◆ 可以同时观察同一光轴上的具有焦点间隔的被检面。



    在印刷基板、玻璃基盘、液晶基盘等制造工艺中,做位置检出和位置对照时,要求显微镜光学系具有深焦点深度的情况增加了。此型号可以从低倍率(例:1.67×)到标准倍率(10×・20×・40×等)将必要焦点深度两种试样的上下点之间的图像表现在一张图像上。双重焦点光学镜筒可以使上层和下层两面同时聚焦,在同一视场内同时成像,在观察两面的同时对照位置。


例1:双重焦点高倍率规格

物镜

工作距离(mm)

分辨率(um)

二焦点间距离(um)

10×

20.3

1.87

0~500

20×

20.5

1.12

0~150

50×

13.8

0.98

0~75