可做高精度两面位置测定偏差测定，非接触厚度测定，简易测长的复合机。

  如做MEMS、电路元件等的两面露光、微细加工检查等。

  在上下搭载光学系，同时观察试样的表里。

  通过专用图像处理，进行高精度测定。

  位置偏移测定再现性 σ=0.3um以下

  厚度测定再现性：±1um以内