工作台

 100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm

 重复再现性0.75μm以下

 定位精度±3.0μm

物镜

 5×、10×、20×、50×、100×

照明

 LED照明

AF

 自动聚焦激光方式

摄像头

 CCD 500万像素

分辨率

 LMPLFLN20× N.A0.40 W.D12.00mm 0.177μ/Pixel

 LMPLFLN50× N.A0.50 W.D10.60mm 0.071μ/Pixel

测定再现性

 0.1μm以下

软件

 专用软件SLM101

测定功能

 自动线宽测定功能

选项

 自动传送对应