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多功能真实色共聚焦显微镜

L7

   ★ 全球首家在共聚焦显微镜上采用3个线型CCD方式, 业内最高的1200万画素(400万画素×RGB)的高画质、颜色再现性极好的图像;
  ★ 业界最快的扫描速度,最高120/sec的高速扫描;

  ★ 可以进行分别基于RGB的图像信号的表面形状测定以及形状解析,进一步也可以获得深焦点图像(焦点移动记忆方式);

  ★ 本装置在进行表面形状测定时,能够作到非接触、非破坏测定,测定精度高、处理速度快,(或在高生产率的条件下)可以实现高效的测定;

  ★ L7 除了白光共聚焦扫描以及激光共聚焦扫描功能外,还具有微分干涉、光学干涉测量以及反射光膜厚测量等功能;

  ★ 分辨率可达0.15um;