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CW激光器—RIIX,RIIY

  (1)  可为利用近红外波长与硅基板吸收特性的半导体设备监测装置提供光源;

  (2)  光纤输出,容易安装到监测装置,安装时间减少到30分钟以内;

  (3)  体型小且配备了隔离器将监测装置反射的光线阻隔,可取得高精细图像;

  (4)  通过电源控制器可以改变输出功率,光束质量不变;

  (5)  提供1.3μm(RIIX)和1.064μm(RIIY)的振荡波长。